不久前，重慶日報記者從兩江新區(qū)獲悉，可填補國內中高端MEMS(微機電系統(tǒng))半導體傳感器芯片空白的兩江智能裝備產業(yè)園，預計明年4月試生產，屆時將助力我國MEMS傳感器芯片研發(fā)與工藝達到世界先進水平。

該項目由中國四聯(lián)儀器儀表集團有限公司投資，擬用地120畝，投產后預計年產能達5萬個晶圓，年產值6億元。

中國四聯(lián)相關負責人介紹，該項目將主要開展半導體傳感器芯片設計、制造工藝、專用裝備制造等全技術鏈條研究，建設具有國際先進水平的高端半導體傳感器芯片和智能儀器系統(tǒng)生產線、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)設備健康管理大數(shù)據(jù)應用及服務平臺。

此外，該項目還將實現(xiàn)紫外-可見-近紅外系列微型光譜儀核心光學元器件、光學系統(tǒng)、專用采集卡、配套軟件、系統(tǒng)一體化集成裝調等核心部件的研發(fā)制造，并基于工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)和專家系統(tǒng)，利用機器學習、大數(shù)據(jù)智能化、物聯(lián)網(wǎng)等新技術，實現(xiàn)對設備全生命周期狀態(tài)監(jiān)測、故障診斷和健康管理。

該負責人聲稱，項目建成投產后，可使我國MEMS產品設計和制造工藝由碎片化走向連續(xù)化、系統(tǒng)化，為國內高精度測量技術的深入研究和大數(shù)據(jù)、智能化發(fā)展奠定堅實基礎，進一步推動我國高端MEMS半導體傳感器全產業(yè)鏈發(fā)展。