2025年8月21日,復(fù)旦大學(xué)信息科學(xué)與工程學(xué)院陳濤教授攜學(xué)生團(tuán)隊(duì)蒞臨蓋澤總部開展訪學(xué)交流。蓋澤總經(jīng)理率管理層及技術(shù)骨干全程陪同,雙方通過實(shí)地參觀與交流分享,深入探討光學(xué)技術(shù)前沿趨勢(shì)、行業(yè)動(dòng)態(tài)及未來合作方向。

陳濤教授2012年獲新加坡南洋理工大學(xué)博士學(xué)位,曾在新加坡智能機(jī)器人實(shí)驗(yàn)室、新加坡信息通信研究所、華為新加坡研究中心等頂尖研究機(jī)構(gòu)任職。2018年入選國(guó)家高層次海外人才計(jì)劃,擔(dān)任復(fù)旦大學(xué)終身教職教授。現(xiàn)為嵌入式視覺實(shí)驗(yàn)室首席研究員,帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)專注于光深視覺模型設(shè)計(jì)、多模態(tài)視覺分析以及邊緣設(shè)備感知視覺應(yīng)用。

座談會(huì)上,雙方圍繞光學(xué)與視覺在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用展開討論,梳理了二者在半導(dǎo)體量測(cè)領(lǐng)域中的應(yīng)用,并結(jié)合半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展趨勢(shì),就未來的創(chuàng)新方向提出了專業(yè)見解。隨后,雙方就半導(dǎo)體FTIR膜厚量測(cè)、元素濃度測(cè)量、橢偏膜厚量測(cè)等技術(shù)在晶圓前道量測(cè)過程中的要點(diǎn)進(jìn)行了深入交流,并對(duì)潛在合作領(lǐng)域與框架進(jìn)行了坦誠(chéng)探討。

座談會(huì)后,領(lǐng)導(dǎo)陪同陳濤教授團(tuán)隊(duì)參觀公司,仔細(xì)觀看了展廳、生產(chǎn)車間區(qū)等各個(gè)板塊,并介紹了蓋澤通過持續(xù)深耕光學(xué)領(lǐng)域,依托自主創(chuàng)新,將自研光學(xué)技術(shù)融入半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備,助力國(guó)內(nèi)晶圓廠、Fab廠實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化替代的發(fā)展歷程,以及蓋澤未來的戰(zhàn)略藍(lán)圖。

參觀過程中領(lǐng)導(dǎo)還向陳濤教授團(tuán)隊(duì)介紹了蓋澤依托自主研發(fā)的光學(xué)技術(shù)打造的IR系列晶圓外延層膜厚測(cè)量設(shè)備,并且為其詳細(xì)解釋了該設(shè)備的技術(shù)原理及優(yōu)勢(shì)。

通過此次復(fù)旦大學(xué)陳濤教授團(tuán)隊(duì)來我司交流協(xié)作,讓蓋澤和復(fù)旦之間搭建了一座緊密溝通的橋梁,既為蓋澤后續(xù)的技術(shù)創(chuàng)新開辟了更多可能,也為雙方在半導(dǎo)體智能制造領(lǐng)域的深度合作注入了新的動(dòng)力與信心。

蓋澤也將借此次交流為契機(jī),依托自身創(chuàng)新優(yōu)勢(shì),融合高??蒲辛α浚掷m(xù)深耕半導(dǎo)體前道量測(cè)領(lǐng)域,為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的長(zhǎng)足發(fā)展貢獻(xiàn)力量。