北京清大天達(dá)光電科技股份有限公司（以下簡稱“清大天達(dá)”），為國家高新技術(shù)企業(yè)、北京市“專精特新”中小企業(yè)。清大天達(dá)深耕電子專用智能裝備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化多年，聚焦MEMS傳感器全制程自動(dòng)化生產(chǎn)核心賽道，打造覆蓋紅外MEMS器件精密組裝、真空焊接、精密清洗、微觀檢測、性能終測的全制程智能裝備體系，可提供落地的標(biāo)準(zhǔn)化、規(guī)?；募t外MEMS傳感器智能制造整體解決方案，助力產(chǎn)業(yè)鏈提質(zhì)增效、實(shí)現(xiàn)智能制造的工藝技術(shù)持續(xù)迭代。

清大天達(dá)具備機(jī)、電、光、熱、氣多領(lǐng)域一體化集成核心技術(shù)，深度適配紅外MEMS器件微納制造、真空封裝、精密測試的特殊工藝要求，自主研發(fā)系列化高精度、高穩(wěn)定性的專用自動(dòng)化裝備。整套系統(tǒng)可替代傳統(tǒng)人工及半自動(dòng)化作業(yè)模式，有效解決制造過程中產(chǎn)品偏差大、良率波動(dòng)大、批次一致性差的行業(yè)痛點(diǎn)，全面提升產(chǎn)品良率與量產(chǎn)穩(wěn)定性。全系設(shè)備工藝適配性強(qiáng)、工序可無縫聯(lián)動(dòng)，構(gòu)建了國內(nèi)完備的紅外MEMS器件專用智能制造裝備矩陣，可滿足規(guī)?；?、標(biāo)準(zhǔn)化、精密化量產(chǎn)需求。

制冷型紅外焦平面探測器制造方面，杜瓦組件是制冷型紅外焦平面探測器的核心封裝部件，其真空封裝精度、密封可靠性直接決定了探測器的成像性能、制冷壽命與長期工作穩(wěn)定性。

清大天達(dá)為解決杜瓦組件的裝配問題，自主研發(fā)杜瓦自動(dòng)組裝激光焊機(jī)，實(shí)現(xiàn)了全流程自動(dòng)化上下料、微米級(jí)高精度對(duì)位、激光密封焊接；該設(shè)備兼容多規(guī)格杜瓦瓶與冷屏組件封裝需求，從封裝源頭保障杜瓦組件的真空密封性與結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。

制冷型紅外焦平面探測器測試方面，清大天達(dá)自主研發(fā)了紅外MEMS專用綜合測試系統(tǒng)，深度適配低溫制冷工作特性與高精度成像測試需求。設(shè)備支持多工位并行測試、多溫度點(diǎn)黑體標(biāo)定測試，可精準(zhǔn)檢測器件探測靈敏度、成像均勻性、響應(yīng)率、噪聲等效溫差等核心參數(shù)，做到批量化測試，大幅提升了測試效率與數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性，完全匹配制冷探測器高精密、高穩(wěn)定性的品質(zhì)管控標(biāo)準(zhǔn)。

除整機(jī)成品性能測試外，針對(duì)探測器核心精密零部件測試，清大天達(dá)配套開發(fā)陶瓷引線環(huán)性能檢測系統(tǒng)、管腳全自動(dòng)尺寸測量機(jī)，實(shí)現(xiàn)全制程質(zhì)量閉環(huán)管控。陶瓷引線環(huán)性能檢測系統(tǒng)可精準(zhǔn)完成引線環(huán)上下電極導(dǎo)通性、絕緣性參數(shù)檢測，兼容多規(guī)格零部件，單機(jī)小時(shí)產(chǎn)能可達(dá)30件以上，測試數(shù)據(jù)自動(dòng)歸集、存檔，實(shí)現(xiàn)數(shù)字化、可追溯性的標(biāo)準(zhǔn)化品控。管腳全自動(dòng)尺寸測量機(jī)支持多引腳同步并行尺寸精度檢測，可將每一單品的測試數(shù)據(jù)與產(chǎn)品唯一身份編碼綁定歸檔，實(shí)現(xiàn)零部件來料、加工、測試、質(zhì)檢全流程溯源，筑牢器件前置品質(zhì)防線，從源頭降低整機(jī)失效風(fēng)險(xiǎn)。

紅外探測器制冷組件測試方面，清大天達(dá)研發(fā)了高精度全自動(dòng)充排氣設(shè)備，完成紅外探測器制冷組件全自動(dòng)高真空抽除、高純惰性氣體精密充填工序；支持多工位模塊化定制，完全適配紅外精密器件標(biāo)準(zhǔn)化、規(guī)?；婵罩苽淞慨a(chǎn)工藝。

制冷型紅外探測器組件清潔方面，清大天達(dá)自主研發(fā)了干冰精密清洗設(shè)備（雪花清洗機(jī)），采用純物理干式清洗工藝，可高效去除器件表面微米、亞微米級(jí)微顆粒污染物，全程無化學(xué)藥劑殘留、無基材損傷、無靜電損傷，完美適配制冷型杜瓦組件、冷屏、芯片的超高潔凈度制造要求。設(shè)備支持全自動(dòng)上下料、物料緩存與自動(dòng)化流轉(zhuǎn)，可適配多型號(hào)制冷型紅外探測器組件標(biāo)準(zhǔn)化清洗作業(yè)，滿足高端制冷紅外器件超精密制造標(biāo)準(zhǔn)。

非制冷型紅外焦平面探測器制造方面，清大天達(dá)自主研發(fā)吸氣劑激光焊接設(shè)備，搭載高精度視覺定位系統(tǒng)，可適配片狀、燒結(jié)型兩大類主流吸氣劑器件，自動(dòng)完成精準(zhǔn)對(duì)位、激光熔接、焊點(diǎn)缺陷檢測全制程作業(yè)，保障探測器內(nèi)部真空環(huán)境的長效穩(wěn)定性，為非制冷型紅外焦平面探測器、低損耗運(yùn)行提供核心工藝保障。

非制冷型紅外MEMS探測器的微納結(jié)構(gòu)裝配方面，清大天達(dá)自主研發(fā)了探測器精密對(duì)位組裝設(shè)備，實(shí)現(xiàn)非制冷MEMS傳感芯片、焊料薄片、可閥框片及窗片等多種微型物料的微米級(jí)精準(zhǔn)對(duì)位與貼合組裝，有效規(guī)避微納裝配偏移、虛貼、錯(cuò)位等工藝問題，保障非制冷紅外器件核心組件的裝配精度、結(jié)構(gòu)一致性與批量穩(wěn)定性，為非制冷紅外MEMS器件規(guī)?；⒏咂焚|(zhì)量產(chǎn)提供核心裝備支撐。

紅外MEMS探測器測試方面，清大天達(dá)搭建全閉環(huán)、全參數(shù)、高精度紅外探測器測試驗(yàn)證體系，針對(duì)制冷型、非制冷型兩類探測器的差異化技術(shù)要求，打造專屬測試裝備與測試工藝，全面保障不同品類器件的出廠性能指標(biāo)合規(guī)。專屬測試設(shè)備適配性更廣、量產(chǎn)適配性更強(qiáng)，可全面兼容晶圓級(jí)、金屬封裝、陶瓷封裝等多種主流封裝形態(tài)器件。系統(tǒng)可自動(dòng)生成標(biāo)準(zhǔn)化芯片Mapping測試圖譜，實(shí)現(xiàn)像素性能全域掃描與缺陷篩查，精準(zhǔn)識(shí)別像素壞點(diǎn)、響應(yīng)異常等工藝問題。全系非制冷測試設(shè)備搭載二維碼全流程溯源系統(tǒng)，支持測試腳本自定義配置、工藝參數(shù)靈活調(diào)試，可充分滿足研發(fā)試樣驗(yàn)證、工業(yè)化批量量產(chǎn)雙重場景需求。

紅外MEMS探測器的真空激活方面，清大天達(dá)自主研發(fā)的吸氣劑電激活設(shè)備，可對(duì)陶瓷封裝探測器內(nèi)置吸氣劑實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)、可控的通電激活，實(shí)時(shí)采集、存儲(chǔ)、分析激活全過程曲線數(shù)據(jù)，精準(zhǔn)判定吸氣劑激活效率與活化效果，保障器件長期真空吸附能力。

目前，清大天達(dá)針對(duì)制冷型、非制冷型紅外探測器打造出全制程自動(dòng)化智能裝備矩陣，已批量應(yīng)用于高端紅外探測、精密光電成像、航空航天、高端裝備制造等核心領(lǐng)域。依托兩類探測器全覆蓋的專屬工藝裝備布局、自主可控的核心工藝技術(shù)、穩(wěn)定可靠的設(shè)備性能及完善的售前售后技術(shù)服務(wù)體系，清大天達(dá)已成為國內(nèi)制冷、非制冷紅外MEMS傳感器及紅外探測器專用智能制造裝備的核心配套供應(yīng)商。

未來，清大天達(dá)將持續(xù)深耕紅外光電MEMS智能制造裝備細(xì)分賽道，持續(xù)聚焦核心工藝攻關(guān)與裝備迭代升級(jí)，突破高端光電精密制造裝備的技術(shù)壁壘，以國產(chǎn)化、高精度、智能化的專用裝備賦能紅外光電產(chǎn)業(yè)鏈自主可控，助力國內(nèi)高端紅外MEMS傳感器、紅外探測器產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量、規(guī)?；?、高端化發(fā)展。