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1納米集成電路制造技術(shù)展望

集成電路制造技術(shù)融合了半導(dǎo)體、材料、光學(xué)、精密儀器、自動(dòng)控制等40多個(gè)工程科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域的最新成就,代表當(dāng)今世界微納制造的最高水平,其技術(shù)水平和產(chǎn)業(yè)規(guī)模已成為衡量一個(gè)國

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