“十五五”規(guī)劃開局之年，富加鎵業(yè)再次迎來歷史性突破！
3月26日，富加鎵業(yè)宣布在國際上首次成功制備出12英寸氧化鎵（Ga?O?）單晶，這是繼2025年12月成功制備8英寸氧化鎵晶體后，再次取得的重大技術(shù)突破。這一突破不僅刷新了全球氧化鎵單晶尺寸的最高紀(jì)錄，更標(biāo)志著我國在第四代半導(dǎo)體核心材料產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程中邁出了決定性一步，而富加鎵業(yè)也成為國際上首家掌握12英寸氧化鎵單晶生長技術(shù)的企業(yè)。
富加鎵業(yè)12英寸氧化鎵單晶（直徑305mm）
氧化鎵是第四代半導(dǎo)體領(lǐng)域代表性材料，因其卓越的耐高壓、低損耗、抗輻照等特性，在數(shù)據(jù)中心、新能源、6G通信、可控核聚變、智能電網(wǎng)、軌道交通、航空航天等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。
國家“十五五”規(guī)劃綱要明確提出要“推動氧化鎵、金剛石等超寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)化發(fā)展”。此次富加鎵業(yè)12英寸氧化鎵單晶制備技術(shù)的突破，正是對國家戰(zhàn)略的有力回應(yīng)，為我國發(fā)展"新質(zhì)生產(chǎn)力"、搶占未來產(chǎn)業(yè)競爭制高點(diǎn)提供了堅實(shí)的材料基礎(chǔ)，為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入了強(qiáng)勁的“中國動力”。
晶圓尺寸是衡量半導(dǎo)體技術(shù)先進(jìn)性和成本效益的核心指標(biāo)。從8英寸到12英寸，并非簡單的尺寸放大，而是一次產(chǎn)業(yè)層面的戰(zhàn)略性飛躍。12英寸晶圓意味著單片晶圓可制造的芯片數(shù)量倍增，能夠大幅攤薄生產(chǎn)成本，為氧化鎵器件的大規(guī)模市場應(yīng)用掃清了關(guān)鍵的成本障礙；也意味著未來氧化鎵功率器件的制造可無縫導(dǎo)入現(xiàn)有成熟的12英寸硅基集成電路產(chǎn)線，極大地降低了下游廠商的設(shè)備投資和產(chǎn)線切換成本，從而能夠以前所未有的速度推動產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。
下一步富加鎵業(yè)將與下游用戶一起開展“襯底-外延-器件-模組”全鏈條協(xié)同攻關(guān)，助力我國高性能氧化鎵功率器件的全產(chǎn)業(yè)鏈貫通，加速氧化鎵高壓大功率電力電子器件產(chǎn)業(yè)的快速落地，早日實(shí)現(xiàn)“讓世界用上好材料”的愿景。
產(chǎn)品介紹
氧化鎵設(shè)備：
公司研制了國際上首臺具備“一鍵長晶”功能的EFG設(shè)備，可以滿足2-6英寸晶體生長需求，目前獲得國內(nèi)授權(quán)專利6項(xiàng)，國際授權(quán)專利4項(xiàng)，可提供設(shè)備及配套工藝包。公司自行研制了全自動 VB 晶體生長設(shè)備，并在國內(nèi)率先突破了6英寸單晶生長技術(shù)瓶頸，實(shí)現(xiàn)了大尺寸 VB 法單晶制備。目前獲得國內(nèi)授權(quán)專利6項(xiàng)，國際授權(quán)專利4項(xiàng)，可根據(jù)客戶需求提供VB設(shè)備及工藝包。
氧化鎵單晶襯底：
作為中國最早投身氧化鎵單晶生長研究的先行者與業(yè)界領(lǐng)先的供應(yīng)商，我們致力于為全球客戶提供卓越的氧化鎵單晶襯底。我們的產(chǎn)品線覆蓋2-6英寸26種常規(guī)性氧化鎵襯底產(chǎn)品，并能夠提供尺寸，電學(xué)性能與晶向的定制化方案，滿足高質(zhì)量外延片研發(fā)及批量制備需求。
氧化鎵外延片：
基于成熟的 MOCVD（金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積）與 MBE（分子束外延）技術(shù)平臺，我們的產(chǎn)品線覆蓋 2-6 英寸等15種常規(guī)性氧化鎵外延片產(chǎn)品，及定制化 MBE 氧化鎵外延片產(chǎn)品，為客戶提供 “襯底-外延”一體化解決方案。外延層生長過程采用精準(zhǔn)的工藝控制體系，可根據(jù)客戶需求定制外延層厚度、摻雜濃度、組分均勻性等關(guān)鍵參數(shù)，能夠滿足不同功率等級、不同功能類型的器件研發(fā)與生產(chǎn)需求。
企業(yè)簡介
杭州富加鎵業(yè)科技有限公司
公司成立于2019年12月31日，公司以“讓世界用上好材料”為愿景，開展超寬禁帶半導(dǎo)體氧化鎵材料的產(chǎn)業(yè)化工作，核心產(chǎn)品為氧化鎵單晶襯底、MOCVD/MBE 外延片、布里奇曼法（VB法）及導(dǎo)模法(EFG法)晶體生長裝備等，為材料研制提供系統(tǒng)性解決方案，加速超寬禁帶氧化鎵產(chǎn)業(yè)全鏈路貫通，推進(jìn)氧化鎵材料在功率器件、微波射頻器件及光電探測等領(lǐng)域應(yīng)用。公司在氧化鎵領(lǐng)域發(fā)展方面取得的系列重要成果已獲CCTV1、CCTV2、《人民日報》、新華網(wǎng)、《中國證券報》、澎湃新聞等知名媒體專題宣傳報道。企業(yè)榮譽(yù)匯總： 2022年獲得浙江省科技型中小企業(yè)；2023年獲得國家高新技術(shù)企業(yè)；2024年獲得杭州市企業(yè)高新技術(shù)研發(fā)中心及浙江省專精特新中小企業(yè)；2025年獲得 ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證（編號：20225Q20294R0M）；2024年度杭州市“新雛鷹”企業(yè)；在氧化鎵領(lǐng)域，正牽頭起草氧化鎵領(lǐng)域首個國家標(biāo)準(zhǔn)，并承擔(dān)了國家發(fā)改委項(xiàng)目1項(xiàng)，國家工信部項(xiàng)目1項(xiàng)，參與了國家自然科學(xué)基金委、浙江省、上海市等國家及省部級項(xiàng)目3項(xiàng)。另外，獲得國際專利授權(quán)14項(xiàng)（美國 6 項(xiàng)，日本7項(xiàng)，歐洲1項(xiàng)），國內(nèi)專利授權(quán)42項(xiàng)，“富加鎵業(yè)”商標(biāo)認(rèn)證注冊3項(xiàng)，軟件著作權(quán)（“一鍵長晶”控制軟件）5項(xiàng)。
